Диаметр условный (DN)

от 10 до 300 мм

Длина

от 100 – по запросу

Предельное давление

от 10⁻³ до 10⁻¹² мбар

Рабочая температура

от -196°C до +450°C

Скорость натекания

≤ 10⁻9 Па·м³/с (гелиевый контроль)

Ресурс циклов

10 000 циклов изгиба

Материал сильфона

AISI 304 / 32L / 316L / (по запросу)

Тип фланцев

KF / ISO-K / ISO-F / CF

Исполнение

Без оплетки / C оплеткой

Области применения

Полупроводниковая промышленность (установки напыления, травления)

Научные исследования (ускорители частиц, синхротроны)

Медицинское оборудование (МРТ, масс-спектрометры)

Вакуумные печи и установки термической обработки

Космическая и аэрокосмическая техника

Аналитическое приборостроение

Вакуумный сильфон — это гибкий элемент трубопровода, выполненный в виде тонкостенной гофрированной трубы из нержавеющей стали.

Предназначен для соединения узлов вакуумных систем, компенсации температурных деформаций, гашения вибраций и упрощения монтажа оборудования.

Диапазон DN: 10−160.

Состав: гофрированный шланг, два фланца KF, центрирующее кольцо с уплотнителем (O-Ring), зажимной хомут с барашком. Монтаж без инструмента.

Уплотнители: NBR (до +100°C, техвакуум, масло), Viton (до +200°C, агрессивные газы).

Сильфоны KF — из нержавейки с кольцевыми гофрами, длина до 5000 мм. Натекание ≤5×10⁻⁹ Па·м³/с (100% гелиевый контроль).

Диаметры DN: 63–300.

ISO-K (LF) — соединение двузубчатым зажимом, быстрый монтаж.
ISO-F — болтовое соединение, высокая прочность, используется как несущий элемент.

Центрирующее кольцо может быть с защитной сеткой.

Сильфоны ISO из сталей 301/321/37Б. Типоразмеры DN 50, 80, 100, 125, 150, 200, 250, 300. Компенсируют осевые, угловые, поперечные смещения.

Для UHV (до 10⁻¹² мбар). Герметизация — деформация медной прокладки между кромками фланцев.

Состав: два CF-фланца, медная прокладка (OFHC), болты, гайки, шайбы.

Особенности: внутренняя сварка всех деталей (нет «виртуальных течей»), фланцы из коррозионностойкой стали, прокладка одноразовая.

Применяются на ионных и турбомолекулярных насосах, вакуумметрах, в камерах UHV.

Сильфоны CF работают в вакууме и под положительным давлением (для давления нужна оплетка).

Параметр

Значение (диапазон)

Диаметр условный (DN)

от 10 до 300 мм

Длина

от 100 – по запросу

Предельное давление

от 10⁻³ до 10⁻¹² мбар

Рабочая температура

от -196°C до +450°C

Скорость натекания

≤ 10⁻9 Па·м³/с (гелиевый контроль)

Ресурс циклов

10 000 циклов изгиба

Материал сильфона

AISI 304 / 32L / 316L / (по запросу)

Тип фланцев

KF / ISO-K / ISO-F / CF

Исполнение

Без оплетки / C оплеткой

Параметр

Температура

Применение

NBR (нитрил)

до +100°C

Технический вакуум, масло, воздух

Viton (FKM)

до +200°C

Агрессивные газы, высокая температура

EPDM

до +150°C

Водяной пар, озоностойкие среды

CR

до +200°C

Высоковакуумные системы